激光干涉儀采用氦氖激光器作為光源。其精度高，抗干擾能力強(qiáng)，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此降低了對環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車間條件下測量大距離用。激光干涉?zhèn)鞲衅骺蓱?yīng)用于精密長度計(jì)量，如線紋尺和光柵的檢定，量塊自動測量，精密絲桿動態(tài)測量等，還可用于工件尺寸、坐標(biāo)尺寸的精密測量中。

中圖儀器推出的SJ6000便攜式激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。能輕松實(shí)現(xiàn)運(yùn)動導(dǎo)軌的快速精確測量，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償，以及實(shí)現(xiàn)位移、速度、加速度以及振幅頻率的動態(tài)測量與分析。

主要特點(diǎn)

1、方便攜帶（無控制電箱設(shè)計(jì)，全套系統(tǒng)總重小于15kg）

2、安裝簡便（兩點(diǎn)式調(diào)光，無需三角架）

3、測量效率高（一次裝調(diào)5-6個參數(shù)同時測出）

4、高效補(bǔ)償（空氣溫度，材料溫度，空氣壓力）

SJ6000便攜式激光干涉儀通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，精度高且效率業(yè)高，而且及時處理數(shù)據(jù)，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。