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      PRODUCTS CENTER

      產(chǎn)品中心

      當前位置:首頁產(chǎn)品中心輪廓儀SuperView W1系列三維表面形貌儀
      三維表面形貌儀

      產(chǎn)品簡介

      SuperView W1系列三維表面形貌儀是以白光干涉技術(shù)為原理,獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點,適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型,讓3D測量變得簡單。

      產(chǎn)品型號:SuperView W1系列
      更新時間:2025-04-05
      廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
      訪問量:2489
      詳細介紹在線留言

      SuperView W1系列三維表面形貌儀基于白光干涉原理研制而成,采用擴展型的相移算法EPSI,集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點,單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型,讓3D測量變得簡單。


      白光干涉原理

      500白光干涉原理.jpg


      產(chǎn)品參數(shù)

      產(chǎn)品型號:SuperView W1

      產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀

      影像系統(tǒng):1024×1024

      光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

      干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

      XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋

      Z軸行程:100mm,電動

      Z向掃描范圍:10mm

      Z向分辨率:0.1nm

      可測樣品反射率:0.05%-100%

      水平調(diào)整:±5°手動

      粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

      臺階高測量:準確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

      主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、快速高效

      生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司


      產(chǎn)品型號:SuperView W1-Pro

      產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀

      影像系統(tǒng):1024×1024

      干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

      XY位移平臺:尺寸300×300mm,行程200×200mm,電動

      Z軸行程:100mm,電動

      Z向掃描范圍:10mm

      Z向分辨率:0.1nm

      可測樣品反射率:0.05%-100%

      水平調(diào)整:±5°手動

      粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

      臺階高測量:準確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

      主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、快速高效

      生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司


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      技術(shù)指標

      500技術(shù)指標.jpg


      產(chǎn)品特點

      參數(shù)測量:粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積,一網(wǎng)打盡;

      環(huán)境噪聲檢測:實時監(jiān)測,納米波動,也無可藏匿;

      雙重防撞保護:軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,讓“以卵擊石"也能安然無恙;

      自動拼接:3軸光柵閉環(huán)反饋,讓3D拼接“天衣無縫";

      雙重振動隔離:氣浮隔振,吸音隔振,任你“地動山搖,我自巋然不動"。


      產(chǎn)品性能

      縱向掃描:≤10.3mm,與選用物鏡相關(guān)

      掃描幀速:50FPS/s

      粗糙度重復(fù)性:0.005nm(依據(jù)ISO 25178-2012)

      光學(xué)分辨率:0.4μm~3.7μm,與選用物鏡相關(guān)

      *大點數(shù):1048576(標準)

      臺階測量:準確度≤0.3%,重復(fù)性≤0.08%1σ


      SuperView W1系列三維表面形貌儀結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。





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